安芯电子突破 LDW 先进工艺!国内首条车规级芯片产线投产,为新能源汽车装上 “中国芯”

2025-09-10 09:36:04 来源:中安在线
        【每日科技网】

  2025 年 7 月底,安徽安芯电子科技股份有限公司(以下简称 “安芯电子”)的洁净车间内,一片厚度仅 0.3 毫米的 6 英寸晶圆在自动化生产线上完成最后一道工序。经严苛测试,这批晶圆的性能参数与良品率均达到预期目标 —— 这标志着国内首条采用 LDW 先进工艺技术的 6 英寸车规级芯片及封装生产线正式投产。该产线生产的芯片可实现 185℃结温的高可靠性能,不仅完全满足车规级应用需求,更一举推动国产车规级芯片摆脱铅依赖,迈入无铅高可靠的全新发展阶段。

  一、直击 “卡脖子” 痛点:为新能源汽车造 “中国芯”

  “中国新能源汽车产业跑得很快,但‘心脏’部位的车规级功率芯片却长期被‘卡脖子’。” 安芯电子董事长汪良恩坦言。当前,国内新能源汽车市场持续扩容,但车规级功率芯片,尤其是具备高抛负载能力的 TVS 芯片和软恢复特性的 FRED 芯片,其核心技术与产能几乎被海外企业垄断。“一旦海外断供,国内车企的生产线可能瞬间停摆,供应链安全面临巨大风险。”

  正是洞察到这一行业痛点,安芯电子果断锚定 “自主可控” 目标,启动车规级 6 英寸晶圆设计制造项目。“我们不仅要造出‘中国造’车规级芯片,更要在可靠性、环保性上超越进口产品。” 为实现这一愿景,安芯电子专门从国际一流半导体企业引进核心技术团队,聚焦行业前沿的车规级芯片设计制造技术攻关,全力打通新能源汽车专用芯片的国产化路径。

  二、一年攻坚破局:赶超海外 3-5 年技术周期

  从 2024 年 7 月 13 日项目启动建设,到 2025 年 7 月底首批晶圆成功下线,安芯电子仅用一年多时间,就走完了海外企业通常需要 3-5 年的技术攻坚与产线建设历程。这一 “安芯速度” 的背后,是对核心工艺的精准突破。

  “这条产线的核心竞争力,就是我们掌握的 LDW 先进工艺技术。” 安芯电子副总经理李建利指着生产线上的核心模块介绍,目前国内仅有安芯电子能将该技术成功应用于车规级 TVS 芯片量产。

  安芯电子 6 英寸车规级芯片及封装生产线研发部经理方亮进一步解释了 LDW 工艺的 “过人之处”:“该技术通过创新的芯片结构设计与工艺优化,实现了精准的横向扩散控制,让芯片能在极端高温环境下稳定工作。” 按照车规级芯片标准,结温需达到 175℃,而安芯电子的产品实测结温达 185℃,远超行业标准;同时还具备低失效率、高抛负载通流能力等优势,可充分适配新能源汽车复杂的工况需求。

  更关键的是,LDW 工艺彻底解决了行业长期存在的 “含铅不环保” 难题。“从事半导体行业十多年,我一直盼着能实现无铅化生产。” 方亮感慨道。如今,借助 LDW 技术,安芯电子的车规级芯片完全摆脱铅依赖,符合欧盟 RoHS 等国际环保标准,不仅能满足国内车企需求,更具备进军全球市场的 “通行证”。

  三、百级洁净标准:打造车规级 “芯” 品质

  车规级芯片对生产环境的洁净度、工艺精度要求极为严苛。为保障产品品质,安芯电子的生产车间按百级洁净标准打造 —— 每立方米空气中直径 0.5 微米以上的尘埃颗粒不超过 100 个,相当于室外洁净空气的万分之一。

  “整条生产线涵盖精准扩散掺杂、高精度光刻、等离子蚀刻等 30 多道核心工艺,单是晶圆清洗就分六步,每一步都要用超纯水和专用清洗剂反复处理,确保表面没有任何杂质。” 方亮介绍,尤其在 LPCVD 模块的 Nitride 沉积工艺中,需在晶圆表面形成一层绝缘膜,其厚度直接决定芯片的抗干扰能力。“我们能将膜厚控制在 100-200 纳米之间,误差不超过 5 纳米,这一精度达到行业顶尖水平。”

  四、产能可期:年供 10 亿只元器件,赋能 200 万辆新能源车

  目前,该产线已进入小批量生产阶段,凭借 “高可靠、无铅化” 的核心优势,已吸引多家国内头部新能源汽车厂商前来洽谈合作。“待满负荷生产后,产线每年可生产 36 万片 6 英寸晶圆,制成 10 亿只车规级电子元器件,能满足近 200 万辆新能源汽车的芯片需求。” 李建利透露。

  这条产线的投产,不仅填补了国内 LDW 工艺车规级芯片量产的技术空白,更打破了海外企业的垄断格局,为我国新能源汽车产业供应链安全提供了关键支撑。“中国汽车要在全球市场立足,必须装上‘中国芯’。” 汪良恩的话掷地有声,“这是安芯电子的使命,更是中国半导体企业扛起的时代责任。”

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